一种透过率线性变化的滤光片的制备方法

摘要

本发明提供一种透过率线性变化的滤光片的制备方法，包括；准备、镀膜、切割、检测；镀膜包括膜系设计、根据膜系设计对每一层薄膜进行膜层厚度控制、进镀膜机进行薄膜沉积；膜系设计中堆叠在基层上的膜系的膜系结构包括八至二十个法布里‑帕罗腔，法布里‑帕罗腔的最后一层作为连接层级联下一个法布里‑帕罗腔；每个法布里‑帕罗腔的最后一层为非四分之一光学厚度的折射率层。本发明能够制备出透过率线性变化的滤光片，该滤光片在特定的波长范围内的插损或透过率随波长线性变化，可用于波长的识别。且本发明根据膜系结构多次实验选择合适的监控方法，得到精确地的膜层的光学厚度，可实现高高精度的线性变化光谱曲线。