公开/公告号CN112209361A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院兰州化学物理研究所;
申请/专利号CN202011131229.0
申请日2020-10-21
分类号C01B32/05(20170101);C01B32/156(20170101);C01B32/21(20170101);C01B32/184(20170101);
代理机构62002 兰州中科华西专利代理有限公司;
代理人曹向东
地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
入库时间 2023-06-19 09:32:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B32/05 专利申请号:2020111312290 申请公布日:20210112
发明专利申请公布后的驳回
机译: 一种制造该薄膜的方法以及使用该薄膜和碳基薄膜的构件
机译: 使用碳基薄膜的空间选择性灰化改善沉积诱导CD不平衡的方法
机译: 使用碳基薄膜的空间选择性灰化改善沉积诱导CD不平衡的方法