真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子

摘要

提供能够提高真空泵的排气性能的真空泵的制造方法、真空泵及真空泵用的定子。一种真空泵的制造方法，对金属板实施切断加工及弯折加工，一体地形成定子（41），前述定子（41）具有位于外周侧端的外周边缘（45）、位于内周侧端的内周边缘（44）、位于外周边缘（45）及内周边缘（44）之间的定子翼（43）。定子翼（43）相对于外周边缘（45）的倾斜角度（θ）从定子翼（43）的内周侧端至外周侧端恒定，位于定子翼（43）的上游侧的定子翼侧端部（53C）的上游侧棱线（54）从定子翼（43）的内周侧端至外周侧端为直线，并且相对于配置与上游侧棱线（54）相向的转子翼（32）的下游侧端部的面（P1），轴向上的间隙（S）恒定。