法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01J 2/02 专利申请号:2020110261499 申请公布日:20210108
发明专利申请公布后的驳回
机译: 液滴吐出运动控制机构,液滴吐出尖头,微液滴产生装置,液滴吐出机理及流体驱动方法,液滴产生方法,表面处理方法
机译: 精细液滴发生器和精细液滴产生装置以及精细液滴产生方法
机译: 具有液滴产生器的EUV光产生装置,该液滴产生器经配置以使用磁场来控制液滴的位置