图案原盘、图案原盘的制造方法、模具的制造方法及基体的制造方法

摘要

一种在表面具有微细的凹凸图案的图案原盘、图案原盘的制造方法、模具的制造方法及在表面具备凹凸结构的基体的制造方法，该图案原盘具备基体和设置在基体的一个表面上的凹凸结构层，基体的至少一个表面由具有蚀刻停止功能的材料制成，基体暴露于凹凸结构层的凹部中的至少一部分凹部的底部，凹凸图案中，与一个表面垂直的方向上的、凹凸图案的各凹部的底点位置的偏差为20nm以下。