公开/公告号CN112171386A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 恒迈光学精密机械(杭州)有限公司;
申请/专利号CN202011018596.X
申请日2020-09-24
分类号B24B1/00(20060101);
代理机构31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 311421 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢201室
入库时间 2023-06-19 09:26:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
授权
发明专利权授予
机译: 用于抛光物体的抛光辊装置具有压缩力识别装置,例如压力传感器。称重传感器,基于预紧力确定压缩力,用该压缩力将抛光辊压在物体上
机译: 去毛刺/抛光路径教学数据生成方法,去毛刺/抛光机器人控制方法和去毛刺/抛光机器人系统,
机译: 抛光体,抛光设备,抛光设备调整方法,抛光膜厚度或抛光终点测量方法以及半导体器件制造方法