基于传统抛光方法的平面零件的全局修形加工

摘要

为了提高高精度平面零件的加工效率,提出了一种全局修形加工的新方法和装置.该方法基于传统抛光方法,通过调节专用修形抛光盘上多个同心圆环的升降来控制其不同径向位置环形区域的材料去除量,以此获得不同的材料去除率分布特性.根据光学元件的原始表面轮廓形貌偏差,设计并优化各种材料去除特性对应工艺条件的加工时间,实现工件表面的确定性的修形加工.实验选择了Φ100mm的K9玻璃晶圆进行加工,通过三种材料去除分布特性的组合,在总平均去除余量小于5μm的情况下,面形精度由PV3.2μm提升到PV300nm.该方法可有效提升平面光学元件的加工效率.