公开/公告号CN112162388A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 福建福光股份有限公司;
申请/专利号CN202011209769.6
申请日2020-11-03
分类号G02B13/00(20060101);G02B13/06(20060101);G02B13/14(20060101);G02B13/18(20060101);G01J3/02(20060101);G01J1/02(20060101);
代理机构35100 福州元创专利商标代理有限公司;
代理人陈方淮;蔡学俊
地址 350015 福建省福州市马尾区江滨东大道158号
入库时间 2023-06-19 09:24:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-07
授权
发明专利权授予
机译: 大相对孔径的折反射光学系统
机译: 紫外线光学系统的极短反射镜,紫外线光学系统的极短柱,紫外线光学系统的极短用途,紫外线光学系统的极短生产方法,紫外线极短的极曝光装置,极是紫外线曝光装置的短用途
机译: 超短波紫外线光学系统-使用反射镜,超短波紫外线光学系统,超短波紫外线光学系统的应用方法,超短波紫外线光学系统的生产方法,超短波紫外线光学曝光方法,系统-短紫外线展