涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵和包括该分子泵的复合分子泵，所述涡轮分子泵包括：壳体；定子部件，定子部件包括定子本体及在定子本体上间隔设置有环形的定子叶片排，且定子叶片排中叶片的第一端倾斜设置；转子部件，转子部件包括旋转轴、安装在旋转轴上的转子本体及在转子本体上间隔设置有环形的转子叶片排，转子叶片排中的叶片和定子叶片排中的叶片沿径向方式交替排布并具有一定间隙以形成压缩气体的第一排气通道，朝向定子叶片排的转子本体表面沿径向方向向上倾斜；驱动部件，驱动部件的输出端与旋转轴连接以驱动转子本体转动。该涡轮分子泵在具有较高的压缩比和可靠性的同时，其结构紧凑以满足小型化的需求。