一种具有加速度带通功能的MEMS惯性闭锁开关

摘要

本发明公开了一种具有加速度带通功能的MEMS惯性闭锁开关，包括衬底、支撑锚点、质量块、第一复位弹簧、第二复位弹簧、限位块、闭锁机构、下级锁止机构、过滤器；衬底上设有支撑锚点；限位块固定在支撑锚点上；限位块限制质量块沿弹体轴向以及沿垂直于弹体轴向的滑动距离；质量块主体中间设有空腔，空腔内平行连接有两个第一复位弹簧；两个第一复位弹簧与固定块相连；两个第二复位弹簧与固定横梁相连，所述固定块、固定横梁均固定在支撑锚点上；闭锁机构设置在两个第二复位弹簧之间；质量块上的第二横梁两端设有下级锁止机构；限位块内设有两个悬臂结构的过滤器。本发明具有加速度带通功能。