夹取储存在硅片盒中的硅片的装置、方法及硅片传送设备

摘要

本发明实施例公开了一种用于夹取储存在硅片盒中的硅片的装置、方法及硅片传送设备，该装置可以包括：驱动轴，驱动轴能够绕自身的纵向轴线旋转；设置在驱动轴上的多个夹取手臂，所述多个夹取手臂沿着垂直于驱动轴的纵向轴线的方向延伸以便在驱动轴靠近硅片盒移动时伸入到硅片盒中并对硅片进行夹取；设置在每个夹取手臂与驱动轴之间的卡扣机构，卡扣机构能够在锁定状态和解锁状态之间转换，在锁定状态下，驱动轴对夹取手臂进行驱动使得在驱动轴旋转时夹取手臂与驱动轴一起旋转，在解锁状态下，驱动轴无法对夹取手臂进行驱动使得在驱动轴旋转时夹取手臂保持固定不动。