一种水基流延成型高导热氮化铝陶瓷基板的制备方法

摘要

本发明公开了一种水基流延成型高导热氮化铝陶瓷基板的制备方法(1)采用氧化铝磷酸二氢铝对氮化铝粉体进行表面改性；(2)称取改性后的氮化铝粉体、分散剂、增塑剂、粘结剂并混合均匀；(3)真空除泡；(4)生坯的制备，采用流延成型与冷等静压成型相结合工艺；(5)排胶，在180℃～460℃下保温2～3h；(6)氮气气氛下1600℃～1750℃烧结4～6h。本发明采用的溶剂为水，安全、绿色、环保，浆料的稳定性好，制得的陶瓷基板热导率高；工艺简单，且生产成本较低，可用于高功率密度电路、IGBT等领域。