垂直腔表面发射激光器、其制造方法及其检查方法

摘要

本发明涉及垂直腔表面发射激光器、其制造方法及其检查方法。垂直腔表面发射激光器包括设置在半导体层上的第一绝缘膜，第一绝缘膜具有凹部、设置在第一绝缘膜的凹部中的识别标记，识别标记由金属层形成，以及设置在半导体层的上方并且覆盖第一绝缘膜和金属层的第二绝缘膜。金属层具有位于等于或低于第一绝缘膜的上表面的高度处的上表面。