一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法，包括：从内向外依次设置的坩埚、工艺层、隔离层和壳体，设于坩埚与工艺层上的滑动机构、设于坩埚底部的限位块，位于限位块下方的隔离机构、磁力部、位置传感器和测量机构。磁力部的电磁铁与永磁体之间产生相斥的磁力，推动坩埚及与其固定连接的部件向上滑动，在位置传感器检测到坩埚的位置改变时，坩埚及与其固定连接的部件、磁力部均受力平衡，获取弹簧形变量，则可确定坩埚及与其固定连接的部件的重力，从而可在线测量坩埚及其内部材料的质量，实现在不进行停机且不破坏密闭环境的情况下，在线监控蒸发源的材料剩余量，为设备生产计划和工艺调试提供数据依据，提高生产效率。