一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法

摘要

本发明涉及MEMS器件，具体是一种MEMS器件原位实时测试坞及失效故障溯源方法。本发明解决了当MEMS器件发生失效故障时无法原位实时地获知引发失效故障的环境应力类型的问题。一种MEMS器件原位实时测试坞，包括测试座板、电池、电源管理芯片、MEMS器件、传感器阵列、模数转换器、微处理器、存储器、无线发射器、无线接收器、上位机；所述传感器阵列包括温湿度传感器、气压传感器、磁场传感器、高度传感器、振动传感器、频率传感器、电压采集器、电流采集器、功率采集器。本发明适用于航空、航天、国防等领域。