一种基于回音壁模式微泡腔耦合CO2传感器及制作方法

摘要

本申请公开了一种基于回音壁模式微泡腔耦合CO2传感器及制作方法，通过放大自发辐射光源发出的光信号通过光纤锥耦合进微泡腔后，光信号与微泡腔内壁上的PHMB固体膜发生耦合形成耦合光信号，然后，耦合光信号再通过光纤锥耦合进光谱仪，由于PHMB固体膜与CO2气体发生反应从而使得PHMB固体膜的折射率发生变化，从而使得光谱仪接收到的耦合光信号对应的光谱吸收峰发生位置偏移，然后，从预先建立的关系数据库内匹配对应的CO2气体浓度，从而得出待测CO2气体浓度，使得检测非常方便且精确度较高，同时，本实施例传感器结构简单，使用寿命长，不受温度影响，降低了制作成本与体积，并便于传感器的微型化。