一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺

摘要

本发明提供一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺，包含以下步骤：将金属双极板清洗后放入烤箱内烘烤；将烘烤后的金属双极板放入真空炉中，真空加热烘干；向真空炉内通入氩气，使其内真空度为0.5‑2.5Pa，射频离子源靶源采用C靶，对金属双极板进行离子清洗30‑60min；关闭氩气、工件偏压、离子源和靶源，将真空炉抽真空至真空度为(1.0‑8.0)*10‑3Pa；向真空炉内通入氩气，采用等离子体增强真空平面磁控溅射法，依次为金属双极板镀上Ti基层、TiN过渡层和非晶碳膜层。本发明的制备工艺，把耐腐蚀层和导电层依次沉积在金属双极板上，降低其表面接触电阻，提高其耐腐蚀性。