一种薄膜功率电感器的制作方法以及薄膜功率电感器

摘要

本发明属于电感技术领域，公开了一种薄膜功率电感器的制作方法以及薄膜功率电感器。制作方法包括如下步骤：磁片的制作；磁片的打孔；线圈层的制作：于绝缘基板上加工电极以形成线圈层，电极的形状与孔状磁片的孔的形状一致；巴块的形成：通过将磁片、孔状磁片、线圈层、孔状磁片以及磁片依次堆叠并压合形成巴块，其中，孔状磁片与线圈层对位叠层，电极置于孔状磁片的孔内；对巴块进行二次压合并切割形成单只产品；将切割好的单只产品进行烘烤形成主体；外电极的制作；外电极的电镀。通过本发明提供的制作方法，孔状磁片可以直接与线圈层进行对位叠层，其工艺简单，可以大规模应用于小型薄膜电感，且薄膜电感厚度均匀。