一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法

摘要

本发明涉及一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法，该方法利用现有的聚焦离子束刻蚀出“工字形”的薄膜横截面样品，将此试样焊接至推拉式(Push to Pull，PTP)装置上，再基于纳米压入技术直接单向拉伸，修正应力位移数据得到薄膜的粘附能。与现有技术相比，本发明具有直接定量测量薄膜材料与基体的粘附力，数据分析过程简单，测量精度高等优点。