公开/公告号CN112045551A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-08
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏科源铝业有限公司;
申请/专利号CN202010919332.5
发明设计人 王勇;
申请日2020-09-04
分类号B24B29/04(20060101);B24B27/00(20060101);B24B41/06(20120101);B24B47/12(20060101);B24B55/06(20060101);B24B55/12(20060101);B24B53/007(20060101);
代理机构32356 南京灿烂知识产权代理有限公司;
代理人赵丽
地址 212212 江苏省镇江市扬中市新坝镇南自路
入库时间 2023-06-19 09:10:33
机译: 一种用于对半导体晶片的一侧进行抛光的单水处理方法和用于对半导体晶片的一侧进行抛光的单线处理装置
机译: 膜厚信号处理装置,抛光装置,膜厚信号处理方法和抛光方法
机译: 半导体晶片的一侧抛光的单晶片处理方法以及半导体晶片的一侧抛光的单晶片处理装置