公开/公告号CN112041968A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201980024973.X
申请日2019-04-01
分类号H01L21/027(20060101);B05C9/14(20060101);B05C11/00(20060101);B05C11/08(20060101);B05C11/10(20060101);B05D1/40(20060101);B05D3/00(20060101);B05D3/06(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳;徐飞跃
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 09:06:00
机译: 化学溶液异常检测装置,液体处理装置,基板处理装置,化学溶液异常检测方法,液体处理方法和基板处理方法
机译: 化学药品的异常检测装置,液体处理装置,基质处理装置,化学药品的异常检测方法,液体处理方法以及基质处理方法
机译: 异常检测装置,液体处理装置,基板处理装置,异常检测方法的化学液体,液体加工方法和基板处理方法