一种标准混合气体制备装置

摘要

本发明公开了一种标准混合气体制备装置，涉及标准混合气体制备技术领域，包括原料气供气装置、平衡气供气装置、混合气选通暂存装置以及混合气输出装置，原料气供气装置与平衡气供气装置的出气端均与混合气选通暂存装置的进气端相连通，混合气选通暂存装置的出气端与混合气输出装置的进气端相连通；还包括原料气通道吹扫清洗装置、混合气输入通道吹扫清洗装置、混合气输出通道吹扫清洗装置。本发明在原料气进气处、混合气输入和输出过程中分别设置原料气通道吹扫清洗装置、混合气输出通道吹扫清洗装置与混合气输入通道吹扫清洗装置，每一次通气混合时可对通道进行吹扫清洗，最大化的减少通道内的杂质，大大提高标准混合气体量值的精准度。