公开/公告号CN112017931A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-01
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201910464334.7
申请日2019-05-30
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人沈锦华
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-06-19 09:03:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
授权
发明专利权授予
机译: 等离子体处理系统,通过使用控制等离子体的方法,控制等离子体处理系统中等离子体中的等离子体的方法,以及制造半导体器件的方法
机译: 喷嘴,等离子体供应系统和用于等离子体供应系统的等离子体处理装置,等离子体发生方法和等离子体处理方法
机译: 等离子体处理系统,等离子体测量系统,等离子体测量方法和等离子体控制系统