用于辐射束的反射光学元件

摘要

本发明提供一种系统，所述系统包括具有反射表面的反射光学元件，所述反射表面被配置成反射辐射束。所述反射光学元件也具有主体。所述系统包括热调节机构，所述热调节机构可操作以在控制器的控制下以热方式引发所述主体的变形。借助于使所述主体可控制地变形，可以用受控方式调整所述反射表面的形状。