原子束产生装置、接合装置、表面改性方法及接合方法

摘要

原子束产生装置(10)具备：阴极(20)，其是具有设置有能够射出原子束的照射口(23)的射出面(22)的框体；阳极(40)，其配设于阴极(20)的内部，且与阴极(20)之间产生等离子体；以及磁场产生部(61、62)，其具有产生第一磁场(B1)的第一磁场产生部(61)和产生第二磁场(B2)的第二磁场产生部(62)，以从射出面(22)侧使第一磁场位于第二磁场的上方进行观察时的磁场的方向在第一磁场为向左、且在第二磁场为向右的方式，在阴极(20)内产生与射出面(22)平行的第一磁场和第二磁场，从而将在阴极(20)内生成的阳离子导向射出面。