一种基于纳米条波导耦合谐振腔的石墨烯逻辑异或门器件

摘要

本发明涉及一种基于纳米条波导耦合谐振腔的石墨烯逻辑异或门器件，包括硅衬底、蓝宝石层、第一石墨烯纳米条波导以及第二石墨烯纳米条波导、与第一石墨烯纳米条波导以及第二石墨烯纳米条波导耦合的第一石墨烯谐振腔、与第一石墨烯纳米条波导以及第二石墨烯纳米条波导耦合的第二石墨烯谐振腔，第一石墨烯纳米条波导以及第二石墨烯纳米条波导沿同一直线设置，第一石墨烯谐振腔以及第二石墨烯谐振腔分别位于直线两侧，第一石墨烯纳米条波导和第二石墨烯纳米条波导相邻边之间的距离d1、第一石墨烯纳米条波导与第一石墨烯谐振腔的耦合长度d2满足：d1+d2＝mπ/(k1‑k2)。具有超快响应速率、超紧凑、高消光比和高对比度的特点。