一种基于超短脉冲激光修复单晶金刚石晶体结构的方法

摘要

本发明公开了一种基于超短脉冲激光修复单晶金刚石晶体结构的方法。本方法采用X射线衍射、激光拉曼光谱等检测技术，能够快速、无损地对金刚石整体及局部区域的结晶质量进行判定。通过皮秒、飞秒等超短脉冲高能激光束，对金刚石中晶体质量较差的区域进行辐射退火处理，从而灵活、高效地修复其晶体结构。结合超短脉冲激光作用时间短、热影响范围小、能量密度高的特点，通过工艺参数的调节，以及退火氛围、温压条件的控制，该方法能够快速且有针对性地促进金刚石表层晶格损伤的修复，提高其晶体质量，特别适用于掺杂金刚石薄膜，能够有效提高其均匀性和晶体质量，优化薄膜的工艺性能。