一种激光诱导有序成核的金刚石微结构原位制备方法

摘要

一种激光诱导有序成核的金刚石微结构原位制备方法，通过超短脉冲激光在衬底上加工微坑阵列，降低微坑中衬底表面的表面能，使微坑内易于成核。使用微波化学气相沉积（MPCVD）等设备在衬底表面形成有序排布、密度可控的金刚石核并通过抑制二次成核沉积出具有有序排布、尺寸一致的（111）取向的微米晶粒金刚石薄膜，再通过反应离子刻蚀制备出有序排布的锥阵列，获得有序排布、尺寸一致、密度可控的金刚石锥阵列结构。本发明的一种激光诱导有序成核的金刚石微结构原位制备方法可制备出具有有序排布的金刚石锥阵列结构，该结构应用在精密加工工具上，有利于提高加工硅片、光学玻璃等硬脆性工件的光学性能。