热释电传感器的感应元及其制造方法、热释电传感器

摘要

本发明公开了一种热释电传感器的感应元及其制造方法、热释电传感器，感应元的制造方法包括以下步骤：S1、提供绝缘衬底和PZT片；S2、分别在所述绝缘衬底和PZT片的一面上镀设金属，形成金属镀膜；S3、将所述绝缘衬底和PZT片以所述金属镀膜相向进行叠置，两层所述金属镀膜进行键合使所述PZT片复合在所述绝缘衬底上；S4、对所述PZT片进行研磨，使所述PZT片的厚度减薄至0.015mm‑0.065mm；S5、在所述PZT片制作电极层，获得感应元。本发明的热释电传感器的感应元，通过金属镀膜将绝缘衬底和PZT片键合，再通过研磨PZT片实现其超薄厚度，显著改善感应元的热释电系数、内阻、介电常数和电容效应，提高机械强度，实现大尺寸加工，利于批量生产。