碱溶性树脂、感光性树脂组合物、感光性片材、固化膜、层间绝缘膜或半导体保护膜、固化膜的浮凸图案的制造方法、电子部件或半导体器件

摘要

本发明提供能够得到高伸长率、低应力、高金属密合、高耐热性的固化膜的碱溶性树脂及含有其的感光性树脂组合物。本发明为(A)碱溶性树脂，其特征在于，具有通式(1)表示的结构，且满足以下的(I)和(II)。(I)作为通式(1)的X1，具有碳原子数为8～30的脂肪族链的有机基团以相对于X1和X2的总量100摩尔％而言30～70摩尔％的量被含有，(II)作为通式(1)的Y1，具有二苯醚结构的有机基团以相对于Y1和Y2的总量100摩尔％而言1～30摩尔％的量被含有(通式(1)中的X1表示碳原子数为2～100个的2价有机基团，Y1和Y2表示碳原子数为2～100个的2～6价有机基团，X2表示碳原子数为2～100个的4价有机基团，p和q表示0～4的范围的整数，n1和n2表示5～100000的范围的整数。)