ラミネーションコーティング法を用いてパターン成膜した有機半導体の膜質評価とTFT素子への応用

机译：使用层压涂层方法和TFT器件的图案化图案图案图案化的有机半导体的膜质量评价

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短チャネルの有機薄膜トランジスタ（Thin-Film Transistor :TFT)を、ゲート絶緣膜表面の親撥制御と半導体溶液のラミネーションコート法を組み合わせることで試作した。ゲート絶縁膜には、半導体溶媒に対して親水性表面を有する架橋型オレフインポリマーをスピンコート法にて形成した。半導体材料には、高秩序なスメクチック相を発現し、液晶性を有するモノアルキルのフエニル-ベンゾチエノベンゾチオフェン誘導体（Ph-BTBT-10)を用いた。今回、半導体溶液の濃度やラミネーションコートにおける溶媒の蒸発方向を変化させ、膜質やTFT特性との関係を調べたので報告する.

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来源
《電子デバイス研究会》|2018年|112 p.|共4页
会议地点
作者
長谷川　諒; 佐藤　琢馬; 宫川　幹司; 藤崎　好英;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类电磁学、电动力学;
关键词
フレキシブルディスプレイ; 有機薄膜トランジスタ; 有機半導体; 塗布プロセス;

机译：柔性显示器;有机薄膜晶体管;有机半导体;涂布过程;

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