衍射光学元件的设计方法、衍射光学元件及设计系统

摘要

本发明提供了一种衍射光学元件的设计方法，其特征在于，包括：S101：获得目标平面上的第一光场图案；S102：将所述目标平面上的第一光场图案转换为球面上的第二光场图案；S103：对所述球面上的第二光场图案的缺失点进行补偿，并匹配灰度值，从而得到修正后的第三光场图案；和S104：根据所述第三光场图案，计算得到所述衍射光学元件的相位分布。该设计方法改善了衍射光学元件的投射质量。