用于远程等离子体氧化腔室的狗骨式入口锥形轮廓

摘要

本公开内容的实施方式总体涉及用于高深宽比结构的保形氧化的处理腔室。处理腔室包括腔室主体，腔室主体具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，和设置在第一侧的流动组件。流动组件包括分流器，以引导流体流动远离设置在处理腔室的处理区域中的基板的中心。分流器包括新月形的第一侧、顶部和底部。处理腔室还包括邻近第二侧定位的分散式泵送结构。流动组件被设计为减少自由基的流动收缩，带来自由基浓度和通量增加。