一种构建低压等离子体沿面放电装置的方法、仿真方法及装置

摘要

本发明提供了一种构建低压等离子体沿面放电装置的方法、仿真方法及装置，能够解决目前等离子体沿面放电装置起始放电电压受到放电面积限制的问题，实现在较低电压下驱动沿面放电装置产生等离子体。本申请将等离子体沿面放电装置模型巧妙简化为平板电容器，据此分析得出起始放电电压的条件规律，明确了：减小其正六边形网格单元的尺寸、选择更大介电常数的介质板、和/或减小介质板的厚度，可以有效降低装置的起始放电电压；同时也因此可减小装置电源部分的体积，有利于实现沿面放电装置的便携化。