光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及检测方法

摘要

一种光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及测量方法。该装置包括光源、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光束整形滤波系统、偏振延迟控制系统、样品台、损伤特征在线测量系统、能量控制系统、聚焦系统、光束质量诊断系统、光闸、光阱、计算机；本发明将强激光光束分束，一部分作为损伤测试光束，一部分作为探测光束，采用偏振延迟控制系统，调节探测光束与损伤测试光束的间隔时间，结合损伤特征在线测量系统，在脉冲激光作用后不同时刻探测光学元件被辐照区域的相位信息及光强信息，获得损伤区域三维形貌及透过率分布的相对变化量。