一种共光路数字全息显微测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种共光路数字全息显微测量装置，包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶(6)、会聚透镜(7)、滤波器(8)和成像探测器件(9)，所述成像探测器(9)通过电缆与计算机(10)连接。本发明利用平面平晶前后表面间形成的干涉腔长结合波长调谐激光器可实现被测目标的共光路相移数字全息显微成像。该装置不但消除了非共光路中系统噪声的影响，而且在无机械运动的情况下实现高精度相移全息，大大提高了数字全息的相位重建精度。