一种基于反射式测量的双波长共光路数字全息显微装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种双波长共光路数字全息显微装置及测量方法，属于光学干涉检测领域。包括激光器、可调中性密度滤光片、扩束准直镜、立方棱镜、消色差透镜、显微物镜、待测物体、载物台、针孔滤波器、相机以及计算机。在本发明提出的双波长共光路数字全息显微装置中，物光与参考光来自于同一条光路并在相机上发生干涉，通过求解干涉条纹获得相位信息。该测量装置抗干扰能力强，对环境振动的敏感度低，具有很高的灵活性与稳定性。适用于具有复杂非连续特征的微纳器件等反射式样本的三维形貌的实时检测场合。