公开/公告号CN111812702A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院高能物理研究所;散裂中子源科学中心;
申请/专利号CN202010857892.2
申请日2020-08-24
分类号G01T1/29(20060101);G01T7/00(20060101);G06F30/17(20200101);G06F30/20(20200101);B23P15/00(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人李斌
地址 100040 北京市石景山区玉泉路19号(乙)院
入库时间 2023-06-19 08:39:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-12
授权
发明专利权授予
机译: 身体例如反射镜,一种用于微光刻设备的确定方法,包括通过探测器信号确定物体的相对位置,该探测器信号具有有关部分测量光束在探测器表面上的撞击位置的信息
机译: 位置敏感辐射探测器阵列的制作方法
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