一种超景深显微快速测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种超景深显微快速测量装置及测量方法,包括测量架，测量架上连接有光学组件，光学组件的下方设有移动测量平台；所述光学组件中设有变焦镜头。本发明利用电动变焦镜头或液体镜头在不同焦距下对工件在检测范围内进行图像获取，并对获取图像中的清晰部分进行合成得到样品的完整图像；使其可以无需调整镜头高度或对焦位置便能实现对样品的高度检测和图像采集；同时，通过以灰度图的方式对图片进行显示，还可以提高软件对工件的高度值提取及后续三维建模效率，具有测量效率高和成像效果好的特点。