累积电离辐射效应下半导体功率器件的可靠性的评价方法

摘要

一种累积电离辐射效应下半导体功率器件的可靠性的评价方法，包括：向样品器件施加预设偏置电压；对施加偏置电压后的样品器件进行辐照直至预设剂量点；测量施加辐照后的样品器件的电学特性参数；基于施加辐照前后的所述样品器件的电学特性参数对所述样品器件在累积电离辐射效应下的可靠性进行评估。本发明提出的评价方法能够便捷有效的对半导体功率器件在累积电离辐射效应下的可靠性进行评估。