金属氧化物在金属表面上的选择性沉积

摘要

提供了相对于氧化物表面在金属或金属性表面上选择性沉积金属氧化物膜的方法。衬底的氧化物表面可相对于金属或金属性表面被选择性地钝化，例如通过将衬底暴露于硅烷化剂。自气相反应物相对于经钝化的氧化物表面在金属或金属性表面上选择性地沉积金属氧化物。