视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法

摘要

本发明涉及视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法，更详细地说，涉及针对半导体元件执行视觉检查的视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法。本发明公开了一种视觉检查模块(100)，作为执行平面形状为直角四边形的元件(1)的视觉检查的视觉检查模块(100)，包括：图像获取部(110)，用于获取元件(1)的图像；光路形成部(120)，选择性形成第一光路(L1)和一对第二光路(L2)，所述第一光路(L1)为使元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述图像获取部(110)，所述一对第二光路(L2)为使所述元件(1)的相对的一对侧面的一对侧面图像到达所述图像获取部(110)。