一种测定微尺度装药爆轰波阵面曲率的MEMS压电式传感器

摘要

一种测定微尺度装药爆轰波阵面曲率的MEMS压电式传感器，包括基底，基底上溅射有下层输出电极及下层焊盘，下层输出电极与下层焊盘通过下层导线连接，构成下层输出层；下层输出层上旋涂并固化形成PVDF‑TrFE薄膜层，对PVDF‑TrFE薄膜层进行硅油浴极化，通过离子刻蚀得到PVDF‑TrFE敏感元件，构成PVDF‑TrFE压电层；PVDF‑TrFE压电层上溅射有上层输出电极及上层焊盘，上层输出电极与上层焊盘通过上层导线连接，构成上层输出层；下、上层输出电极采用上下轴向对齐的布置方式；下、上层焊盘采用由下层导线、上层导线连接并垂直的布置方式；上层输出层上涂覆有保护层；该传感器具有敏感元件尺寸小、精度高、多点采集等特点，适用于多种测试条件下微尺度装药爆轰波阵面曲率的测量。