一种高精度微弱瞬态电流测试系统及方法

摘要

本发明提供了一种高精度微弱瞬态电流测试系统及方法，涉及测试技术领域，包括：信号施加电路，用于向被测器件施加偏置电压、激励信号和同步信号，其中，偏置电压使被测器件反向偏置，同步信号对激励信号进行同步控制，以使被测器件产生周期性的微弱电流变化量；信号采样电路，用于获取同步信号，并根据同步信号对微弱电流变化量进行周期性的采样，确定多组同步电流数据；数据处理电路，用于对多组同步电流数据形成的数字序列进行积分处理，确定检测微弱电流信号。本发明通过同步信号，对同步电流数据形成的数字序列进行周期性的积分运算，利用重频叠加的方法，有效获取检测微弱电流信号，保证了测试检测微弱电流信号的准确度和高效性。