一种九温区坩埚下降炉的结构设计

摘要

本发明提供了一种九温区坩埚下降炉的结构设计，通过将九段温区化分为化料区、放肩区、等径生长区以及退火区，同时结合炉体内部的精确测温工艺，能够较为准确的监测晶体的生长过程，保证坩埚下降法生长晶体的稳定性和重复性。