一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法

摘要

本发明涉及一种非球面超高分辨KB显微镜的装调装置和装调方法，装置包括调整组件及设于调整组件上的反射镜组件，调整组件包括定位杆、光学导轨、光学调整架和两台自准直仪，两台自准直仪安装在光学导轨两端，定位杆设于光学导轨上并可在光学导轨上滑动，光学调整架安装在光学导轨上，反射镜组件包括设于光学调整架上的镜框、顶靠在所述镜框上的两块非球面的反射镜、两块光学锥芯镜框和两个镜框附件，每块反射镜通过一块光学锥芯和一个镜框附件顶靠在镜框上，每块反射镜与其对应的光学锥芯相接触，每块光学锥芯与一台自准直仪对应设置。与现有技术相比，本发明具有提高精度，提高实验效率等优点。