非球面光学反射镜的装调方法

摘要

针对通过胶粘固定的口径为230 mm非球面反射镜的装调要求,选用无像差面型检测法,通过对3个关键过程,即底板与裸镜的粘接,镜框与底板的连接,光学定心加工的实验研究,提出使粘接应力及结构件传导应力变化量达到最小的微应力装校方法,并通过光学定心加工标定出非球面反射镜的光学中心.装调结果表明:对于口径为230mm的非球面反射镜,微应力装调后面型精度≤0.02λ；光学中心偏心量≤5 μm,分划板表面与光轴垂直度误差≤2.5”.