有源腔与无源腔交替结构的DFB激光器

摘要

本公开提供一种有源腔与无源腔交替结构的DFB激光器，包括：衬底层；下限制层，位于衬底层上；下波导层，位于下限制层上；有源层，位于下波导层上；上波导层，位于有源层上；上限制层，位于上波导层上，其内设置有光栅结构；沿上限制层设置有一纵向脊波导；欧姆接触层，覆于脊波导上表面共同构成脊条结构；绝缘层，位于上限制层表面及脊条结构侧壁；以及P面电极，成梳齿状纵向间隔覆于脊条结构的上表面并覆满脊条结构侧壁后沿绝缘层延伸出一外部接入电极；其中，有源层中对应脊条结构有覆盖P面电极的部分形成多个有源腔，有源层中对应脊条结构未覆盖P面电极的部分形成多个无源腔，从而使得激光器沿纵向方向上形成有源腔与无源腔的交替结构。