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process for the production of a dfb diode laser with angekoppeltem waveguides and dfb laserdiodenschichtstruktur

机译:角膜腔波导和dfb激光的dfb二极管激光器的生产方法

摘要

PCT No. PCT/DE96/00781 Sec. 371 Date Nov. 18, 1997 Sec. 102(e) Date Nov. 18, 1997 PCT Filed May 3, 1996 PCT Pub. No. WO96/37020 PCT Pub. Date Nov. 21, 1996Use of the method allows MRCW high-temperature laser diodes with a coupled optical waveguide to be produced in four epitaxial steps. The advantage is that, of the four epitaxial processes the first two and the last two are carried out virtually immediately successively after one another and an interruption is necessary only to produce a grating. Other components, such as photodiodes for example, can also be produced using the method.
机译:PCT号PCT / DE96 / 00781 371日期1997年11月18日102(e)日期,1997年11月18日PCT,1996年5月3日提交,PCT公开。 WO96 / 37020 PCT公开号日期:1996年11月21日,使用该方法可以在四个外延步骤中制造带有耦合光波导的MRCW高温激光二极管。优点在于,在这四个外延工艺中,前两个和后两个实际上彼此紧接相继进行,并且仅需中断即可产生光栅。其他部件,例如光电二极管,也可以使用该方法生产。

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