一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻

摘要

一种基于多层磁性复合结构的各向异性磁电阻，属于磁传感器技术领域。所述磁电阻包括基片，以及依次形成于基片之上的缓冲层薄膜、[NiFe/NiCo]n的多层薄膜和覆盖层薄膜，其中，n≥2。本发明采用[NiFe/NiCo]n的多层薄膜作为磁性层，通过相邻磁性层间界面的自旋相关散射，弥补由于n增大后单层磁性层厚度降低对各向异性磁电阻效应的降低，并且可以根据具体应用的需求，通过重复周期n及各层的厚度灵活调整传感器翻转场、线性区等参数，实现磁各向异性薄膜厚度在降低到20～40nm后仍然兼具小的饱和场与大于2％的各向异性磁电阻变化率。